Vide

Thermocoax offre un large éventail de solutions thermiques personnalisées pour les industries du vide, pour les processus de déposition industrielle et des semi-conducteurs, les processus de fabrication des écrans et écrans tactiles, OLED, analyse et applications cryogéniques.

Précision, stabilité et fiabilité

Toutes nos solutions thermiques personnalisées intègrent les réchauffeurs de câbles à isolation minérale et les thermocouples fabriqués dans nos usines.

Toutes nos solutions thermiques sont contrôlées en interne en utilisant des procédures de contrôle extrêmement précises afin de répondre aux spécifications très exigeantes des industries qui utilisent des processus de vide.

Des solutions de chauffage électriques personnalisées THERMOCOAX sont utilisées dans différentes applications de l’industrie du vide, comme :

  • Pulvérisation par bombardement ionique
  • Lithographie
  • Implantation ionique
  • CVD
  • ALD
  • PECVD
  • Moirage
  • Retrait et dopage
  • Étuvage
  • Chauffage de tuyauterie par traçage

Nous offrons des solutions thermiques électriques personnalisées utilisées dans les principaux processus industriels liés au vide :

  • Plaques chauffantes radiatives et conceptions 3D
  • Plaques chauffantes conductrices jusqu’à 1000°C
  • Plaques chauffantes
  • Réchauffeurs multizones
  • Sources ioniques – Vaporisateurs
  • Réchauffeurs de valves
  • Câbles chauffants 2D et 3D
  • Plaques chauffantes de bobines
  • Réchauffeurs de substrat de vide ultra-haut
  • Éléments chauffants
  • Câbles et jaquettes en soie de verre et en silicone
  • Réchauffeurs de canalisation de gaz en silicone

Le processus de fabrication THERMOCOAX est entièrement contrôlé : traçabilité, évaluation des sous-traitants, audits internes et externes, respect des dispositions réglementaires

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