VAKUUM

Thermocoax bietet ein breites Sortiment kundenspezifischer thermischer Lösungen für Vakuumanwendungen für die Solarwirtschaft, Halbleiter und industrielle Abscheideprozesse, Herstellungsverfahren von Displays und Touch-Panels, OLED, Analytik und kryogene Anwendungen an.

Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit

Alle unsere kundenspezifischen thermischen Lösungen greifen auf mineralisolierte Heizkabel und Thermoelemente zurück, die in unseren Fabriken hergestellt wurden.

Alle unsere thermischen Lösungen werden unternehmensintern anhand äußerst präziser Kontrollverfahren überprüft, um den anspruchsvollen technischen Bedingungen der Branche hinsichtlich der Vakuumprozesse gerecht zu werden.

Die kundenspezifischen elektrischen Beheizungslösungen von THERMOCOAX werden für verschiedene Vakuumanwendungen verwendet, wie beispielsweise:

  • Sputtern
  • Lithographie
  • Ionenimplantation
  • Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
  • Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Strukturierung
  • Entfernung und Dotierung
  • Ausheizen
  • Begleitheizung

Wir bieten kundenspezifische elektrische Beheizungslösungen an, die in den wesentlichen industriellen Vakuumprozessen verwendet werden.

  • Strahlende Heizplatten und 3D-Design
  • Leitende Heizplatten bis zu 1000°C
  • Beheizbares Spannfutter
  • Mehrzonenheizer
  • Ionenquellen – Verdampfer
  • Ventilheizkörper
  • 2D- und 3D-Heizkabel
  • Heizplatten mit Heizspiralen
  • Substratheizungen mit Ultrahochvakuum
  • Heizstäbe
  • Silikon- und Glasseidenmanschetten und -kabel
  • Heizungen für Gasleitungen aus Silikon

Die Herstellungsverfahren von THERMOCOAX werden komplett überprüft: Rückverfolgbarkeit, Begutachtungen des Unterauftragnehmers, betriebseigene und außerbetriebliche Prüfung, Regelüberwachung.

Besuchen Sie unsere Thermocoax Nanotech Website